镀膜机

蒸铟专用设备，满足高品质铟柱沉积的需要，具有成熟的蒸铟的工艺，具有优化的Lift-off工艺设计，满足高厚度、回流、倒装冷焊的工艺前道要求。

用于超导量子实验室制备超导结（量子比特和约瑟夫森结）和量子器件，可以制备大面积、高稳定性和可重复性超导结。

使用离子源，将靶材（金属或电介质）沉积或溅射到基片上，以形成金属或电介质膜。因为离子束是等能的（离子具有相等的能量），且高度准直，所以与其他PVD（物理气相沉积）技术相比，其能够精确地控制厚度，并沉积非常致密的高质量薄膜。

用于在超高真空环境下制备高性能的Nb、Ti、Al、NbTi等低温超导薄膜和Fe、Co、Ni及合金等磁性薄膜。

超高真空电子束蒸发镀膜机